电感耦合等离子体发射光谱仪是以等离子体为激发光源的原子发射光谱分析方法，可进行多元素的同时测定。样品由氩气载气引入雾化系统，被雾化后以气溶胶形式进入等离子体的中心通道，在等离子体焰炬6000～10000K的高温和惰性气氛中，发生去溶剂、蒸发、离解、原子化和激发，或电离、离子激发，然后发射出各自的特征谱线。根据各元素特征谱线的存在与否，进行元素的定性分析，由特征谱线的强度进行相应元素的定量分析。可用于测定各种物质中常量、微量、痕量金属元素或非金属元素的含量，能够分析70多种元素，具有分析速度快、多元素同时分析的能力，以及低检出限和宽线性动态范围等优点。