由等离子体发生器、雾化室、炬管、四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管（离子探测器或收集器）组成。其优点是：检出限低、基体效应小、谱线简单，能同时测定许多元素，动态线性范围宽，能快速测定同位素比值。 用于环境中大气、水质、土壤和固废污染物中超痕量无机元素分析，如Pb、Cd、Cr、Ni、Cu、Zn等多种重金属元素；食品和药品中无机元素的超痕量分析；元素的形态分析，例如砷、汞、硒等元素的多形态定性定量分析。